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[常見問題]什么是真空系統(tǒng)?[ 2016-03-25 08:00 ]
在真空應(yīng)用技術(shù)中,真空的獲得和測量是兩個重要的方面,在一個真空系統(tǒng)中,真空獲得的設(shè)備和測量儀器是必不可少的。目前常用的真空獲得設(shè)備主要有水環(huán)真空泵、旋片式真空泵、油擴散泵、渦輪分子泵、離子濺射泵、升華泵等。真空測量儀器主要有U型真空計、熱傳導真空計、電離真空計等。隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展,各種真空獲得設(shè)備向高抽速、高極限真空、無污染方向發(fā)展。各種真空測量設(shè)備與微型計算機相結(jié)合,具有數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)打印、自動監(jiān)控和自動切換量程等功能。
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